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瑞士VAT阀59.0 超高真空全金属可变泄漏阀

简要描述:瑞士VAT阀59.0 超高真空全金属可变泄漏阀
59.0 超高真空全金属可变泄漏阀
满足超高真空要求

浏览次数:2488

  • 厂家实力

    Manufacturer Strength
  • 有效保修

    Valid Warranty
  • 质量保障

    Quality Assurance

详细介绍

瑞士VAT阀59.0 超高真空全金属可变泄漏阀

适用于最小气流的高精度计量59.0 超高真空全金属可变泄漏阀可以精确控制极小的气流(1 × 10-10 mbar ls-1 至 500 mbar ls-1)。该系列阀门采用全金属设计,是满足超高真空和超高真空工艺中气体计量要求的理想选择。

59.0 系列的特殊控制功能确保可重复的精确气流设置,增强了过程控制能力。其还能在整个使用寿命内提供可靠的密封关闭,不会出现任何密封疲劳风险。

此外,59.0 系列采用全金属设计(高级不锈钢阀体和镀金不锈钢薄膜闸封),因此具有出色的抗腐蚀性和抗腐蚀性气体特性。

59.0 系列已经安装在数百个各种工艺条件下的要求苛刻的应用中,证明了其可靠性。其已成为超高真空和真空应用中可变泄漏阀的标准解决方案。

59.0 超高真空全金属可变泄漏阀提供 DN为16 mm (5/8") 的角阀或内联阀,带手动驱动器,或带配有步进电机的集成式或可拆卸压力控制器。59.0 系列最高可烘烤至300℃。根据烘烤过程中的情况,可以在烘烤过程中取下驱动器。标准法兰为 CF-R,固定到位。

隔膜采用“硬对硬"密封技术,阀门在整个使用寿命内可进行 40 万次控制循环和 1 万次密封关闭循环,无需任何维护,其可作为零部件使用,并且易于更换。

瑞士VAT阀59.0 超高真空全金属可变泄漏阀

59.0 超高真空全金属可变泄漏阀主要特点


特点:

  • 适用于最小气流的高精度气体计量

  • 精确可重复的气流设置

  • 可靠的持续密封

  • 耐腐蚀和腐蚀性气体


优势:

  • 在极小气流下可实现最佳压力控制

  • 工艺可控性增强

  • 正常运行时间长

  • 瑞士VAT阀59.0 超高真空全金属可变泄漏阀

技术数据
尺寸

DN 16 (⅝")
驱动器
手动
方向盘
 
带步进电机的集成式或可拆卸压力控制器
阀体材料

不锈钢
标准法兰

CF-R
密封技术

隔膜
泄漏率
阀体
< 1 × 10-10 mbar ls-1
 
阀座
< 1 × 10-10 mbar ls-1
压力范围

超高真空至 2bar(绝对压强)
压差打开时≤ 10 bar
死区
角阀:
阀座侧
侧端口
2.7 cm3
1.1 cm3
 
内联阀:
阀座侧
侧端口
0.98 cm3
1.01 cm3
首维护前开关次数

20 000
烘烤温度
阀体
≤ 300 °C
 
手动驱动器
≤ 300 °C 
 
带步进电机的控制器
≤ 50 °C 
加热和冷却速率

≤ 60 °C h-1
材料
阀体
AISI 660 (1.4943), AISI 316L (1.4404)
 
隔膜
AISI 301 (1.4310), 镀金
安装位置

任何位置
阀门位置指示

视觉(比例)
流导(分子流)

0.05 ls-1
可调节气流

1 × 10-10 mbar ls-1 至 500 mbar ls-1
重量
带手动驱动器
0.94 kg / 2.07 lbs
 
带受控步进电机
2.5 kg / 5.5 lbs


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