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日本丰兴AD-SL231D-916D-TOYOOKI

简要描述:日本丰兴AD-SL231D-916D-TOYOOKI
以下是关于日本丰兴(Toyoko Koki)AD-SL231D-916D 高真空角阀的详细介绍,包含技术规格、产品特点、应用场景及选型指导:

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  • 厂家实力

    Manufacturer Strength
  • 有效保修

    Valid Warranty
  • 质量保障

    Quality Assurance

详细介绍

日本丰兴AD-SL231D-916D-TOYOOKI

1. 产品概述

  • 型号:AD-SL231D-916D

  • 品牌:丰兴(Toyoko Koki)

  • 类型:气动高真空角阀(Pneumatic Angle Valve)

  • 定位:专为严苛工业环境设计,适用于超高真空(UHV)、高温及腐蚀性气体工况,常见于半导体、光伏和精密镀膜设备。


2. 核心特点

(1)高性能密封

  • 泄漏率:<1×10⁻⁹ Pa·m³/s(金属密封),满足半导体级真空要求。

  • 密封选项

    • 金属密封(铜/铝):耐高温(最高250°C),抗等离子体腐蚀。

    • 氟橡胶(FKM):适用于常温及一般腐蚀性气体(如O₂、N₂)。

(2)耐腐蚀与耐高温

  • 阀体材质SUS316L不锈钢(默认),抗卤素气体(Cl₂、HBr)腐蚀。

  • 表面处理:电解抛光(EP)或镀镍,减少颗粒污染和气体吸附。

(3)快速响应与长寿命

  • 驱动方式:气动(标准),开关时间 ≤0.3秒,支持高频操作(>100万次循环寿命)。

  • 可选电动驱动:集成位置反馈,兼容PLC控制(24VDC/220VAC)。


3. 技术参数

参数规格
通径(DN)50 mm(或定制DN16~DN200)
连接方式CF法兰(ISO-K)、KF法兰、VCR
压力范围大气压 ~ 1×10⁻¹⁰ Pa
驱动气压0.4~0.6 MPa(洁净干燥空气)
温度范围-20°C ~ +250°C(金属密封)
适用气体惰性气体、腐蚀性气体、CVD工艺气体

4. 与同系列型号对比

型号AD-SL231D-304BAD-SL231D-504BAD-SL231D-916D
阀体材质SUS304SUS316LSUS316L(增强型)
密封选项金属/氟橡胶金属/氟橡胶金属密封(默认)
耐温性≤150°C≤200°C≤250°C
典型应用通用真空系统半导体刻蚀半导体/CVD

5. 典型应用场景

  • 半导体设备

    • 刻蚀机腔室隔离、ALD/CVD反应腔的气体通路控制。

  • 光伏与显示面板

    • PECVD、溅射镀膜机的真空系统阀门切换。

  • 科研与航天

    • 粒子加速器、太空模拟舱的真空隔离。


6. 选型与安装建议

  • 关键选型因素

    1. 气体兼容性:若涉及腐蚀性气体(如NF₃、SiH₄),需确认密封材质(金属优先)。

    2. 温度需求:高温工艺(>200°C)必须选择金属密封。

    3. 法兰标准:需与现有管道匹配(如CF法兰需配铜垫圈)。

  • 安装注意

    • 避免机械应力扭曲阀体,安装后需做氦检漏测试。

      日本丰兴AD-SL231D-916D-TOYOOKI



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