日本丰兴AD-SL231D-304B气动角阀TOYOOKI

日本丰兴AD-SL231D-304B气动角阀TOYOOKI

1. 产品概述

• 型号：AD-SL231D-304B

• 品牌：丰兴（Toyoko Koki）

• 类型：气动高真空角阀（Angle Valve）

• 定位：适用于超高真空（UHV）和腐蚀性环境，常见于半导体、镀膜及科研设备。

2. 核心特点

• 超高真空兼容：

• 泄漏率 <1×10⁻⁹ Pa·m³/s（金属密封），满足UHV标准（10⁻⁷ Pa以下）。

• 耐腐蚀设计：

• 阀体材质为 SUS304不锈钢（标准），可选SUS316L增强抗腐蚀性（如应对Cl₂、HBr）。

• 快速响应：

• 气动驱动，开关时间 ≤0.5秒，支持高频操作（如半导体腔室隔离）。

• 紧凑轻量化：

• 结构优化，重量较传统阀门减轻20%，适合高密度设备集成。

3. 技术参数

4. 与AD-SL231D-504B的区别

• 材质差异：

• -304B：阀体为SUS304（通用型不锈钢），成本较低。

• -504B：阀体可能升级为SUS316L（更高耐腐蚀性），适合恶劣工艺环境。

• 密封选项：两者均支持金属/氟橡胶密封，但-504B可能默认配置更耐腐蚀的密封组合。

5. 典型应用

• 半导体制造：刻蚀设备腔室隔离、CVD气体通路控制。

• 真空镀膜：磁控溅射设备的真空系统阀门切换。

• 科研装置：同步辐射光源、电子显微镜的真空隔离。

6. 选型建议

• 腐蚀性环境：若工艺涉及强腐蚀气体（如等离子刻蚀），建议确认SUS304是否足够，或升级至SUS316L版本。

• 驱动方式：气动需洁净压缩空气（无油、无水），电动需匹配PLC信号（如24VDC）。

• 法兰兼容性：需与现有系统的法兰标准（CF/KF）匹配，必要时提供接口图纸。

7. 支持与服务

• 丰兴提供 3D模型下载（STEP/IGES格式）和定制化修改（如法兰方向调整）。

• 渠道可获取泄漏率测试报告和寿命验证数据（通常>100万次循环）。

日本丰兴AD-SL231D-304B气动角阀TOYOOKI