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详细介绍
日本丰兴AD-SL231D-504B TOYOOKI
型号：AD-SL231D-504B
品牌：丰兴（Toyoko Koki）
类型：高真空角阀（Angle Valve）
设计用途：用于半导体、真空镀膜、分析仪器等需要高密封性和快速响应的真空系统。
高密封性：
泄漏率低至 <1×10⁻⁹ Pa·m³/s（氦气检漏），确保超高真空（UHV）环境下的稳定性。
金属密封（可选氟橡胶密封，适用于不同温度需求）。
快速开关：
气动驱动，开关时间 <0.5秒（取决于配置），适合高频次操作。
耐腐蚀性：
阀体和密封材料可耐受 腐蚀性气体（如Cl₂、HBr），适用于半导体刻蚀工艺。
紧凑设计：
轻量化结构，节省安装空间，适合紧凑型设备布局。
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 通径（DN） | 50 mm（或根据型号定义） |
| 连接方式 | CF法兰（ISO-K）、KF法兰或定制 |
| 压力范围 | 大气压 ~ 1×10⁻⁹ Pa |
| 驱动方式 | 气动（标准） / 可选电动或手动 |
| 阀体材质 | 不锈钢（SUS304/SUS316L） |
| 密封材质 | 金属（铜/铝）或氟橡胶（FKM） |
| 温度范围 | -20°C ~ +150°C（氟橡胶密封） |
| 适用气体 | 惰性气体、腐蚀性气体、高纯度气体 |
半导体设备：用于刻蚀、CVD、PVD设备的腔室隔离与气体控制。
真空镀膜：磁控溅射、蒸镀机的真空路径切换。
科研仪器：电子显微镜、粒子加速器的真空系统。
兼容性：需确认法兰接口（如CF、KF）与现有系统匹配。
驱动方式：气动需配置洁净压缩空气源，电动需对接PLC控制。
特殊需求：腐蚀性气体应用需选择SUS316L材质和金属密封。
日本丰兴AD-SL231D-504B TOYOOKI
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