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详细介绍
日本丰兴电磁阀AD-SL231D-710D-TOYOOKI
型号：AD-SL231D-710D
品牌：丰兴（Toyoko Koki）
类型：电磁驱动高真空角阀（Solenoid-Actuated Angle Valve）
核心定位：
专需快速响应与精确控制的真空系统设计，适用于半导体、分析仪器等自动化场景。
相比气动阀，无需外接气源，适合空间受限或需简化系统的设备。
响应速度：开关时间 ≤0.1秒（最快可达50ms），远超气动阀（0.3~0.5秒）。
集成控制：内置电磁线圈，支持24VDC/12VDC（标准），可直接连接PLC或继电器。
无气源依赖：无需压缩空气，减少系统复杂度，避免油/水污染风险。
泄漏率：<1×10⁻⁹ Pa·m³/s（金属密封），满足UHV（超高真空）要求。
压力范围：大气压 ~ 1×10⁻⁸ Pa（氟橡胶密封）或 1×10⁻⁹ Pa（金属密封）。
阀体材质：SUS304不锈钢（默认），可选SUS316L增强抗腐蚀性。
密封选项：
金属密封（铜/铝）：耐高温（200°C）、抗等离子体侵蚀。
氟橡胶（FKM）：经济型选择，适用于常温及弱腐蚀性气体（如N₂、Ar）。
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 通径（DN） | 25 mm（或根据型号定义） |
| 连接方式 | CF法兰（ISO-K）、KF法兰 |
| 驱动电压 | 24VDC（标准）/ 可选12VDC、110VAC |
| 功率消耗 | 5~10W（根据电压和线圈配置） |
| 温度范围 | -10°C ~ +80°C（线圈部分） |
| 阀体耐温 | -20°C ~ +200°C（金属密封） |
| 适用气体 | 惰性气体、高纯度气体、弱腐蚀性气体 |
| 特性 | AD-SL231D-710D（电磁） | AD-SL231D-916D（气动） |
|---|---|---|
| 驱动方式 | 电磁线圈 | 气动（需0.4~0.6 MPa气源） |
| 响应速度 | ≤0.1秒 | ≤0.3秒 |
| 安装复杂度 | 低（仅需通电） | 中（需气路连接） |
| 适用场景 | 小型设备、高频开关 | 大型系统、耐高温/腐蚀性环境 |
半导体设备：
真空机械手（Loadlock）的快速隔离，晶圆传输腔室的气体控制。
分析仪器：
质谱仪、电子显微镜的真空通路切换。
自动化系统：
需PLC高频控制的真空生产线（如锂电池镀膜）。
日本丰兴电磁阀AD-SL231D-710D-TOYOOKI
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