日本丰兴AD-SL231D-916D-TOYOOKI

日本丰兴AD-SL231D-916D-TOYOOKI

1. 产品概述

• 型号：AD-SL231D-916D

• 品牌：丰兴（Toyoko Koki）

• 类型：气动高真空角阀（Pneumatic Angle Valve）

• 定位：专为严苛工业环境设计，适用于超高真空（UHV）、高温及腐蚀性气体工况，常见于半导体、光伏和精密镀膜设备。

2. 核心特点

（1）高性能密封

• 泄漏率：<1×10⁻⁹ Pa·m³/s（金属密封），满足半导体级真空要求。

• 密封选项：

• 金属密封（铜/铝）：耐高温（最高250°C），抗等离子体腐蚀。

• 氟橡胶（FKM）：适用于常温及一般腐蚀性气体（如O₂、N₂）。

（2）耐腐蚀与耐高温

• 阀体材质：SUS316L不锈钢（默认），抗卤素气体（Cl₂、HBr）腐蚀。

• 表面处理：电解抛光（EP）或镀镍，减少颗粒污染和气体吸附。

（3）快速响应与长寿命

• 驱动方式：气动（标准），开关时间 ≤0.3秒，支持高频操作（>100万次循环寿命）。

• 可选电动驱动：集成位置反馈，兼容PLC控制（24VDC/220VAC）。

3. 技术参数

4. 与同系列型号对比

5. 典型应用场景

• 半导体设备：

• 刻蚀机腔室隔离、ALD/CVD反应腔的气体通路控制。

• 光伏与显示面板：

• PECVD、溅射镀膜机的真空系统阀门切换。

• 科研与航天：

• 粒子加速器、太空模拟舱的真空隔离。

6. 选型与安装建议

• 关键选型因素：

1. 气体兼容性：若涉及腐蚀性气体（如NF₃、SiH₄），需确认密封材质（金属优先）。

2. 温度需求：高温工艺（>200°C）必须选择金属密封。

3. 法兰标准：需与现有管道匹配（如CF法兰需配铜垫圈）。

• 安装注意：

• 避免机械应力扭曲阀体，安装后需做氦检漏测试。

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